瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

在腐蝕性工藝環(huán)境下提供可靠隔離采用 L-VAT 技術(shù)的 04.2 傳輸閥特別適合腐蝕性工藝，如蝕刻或 CVD。L-VAT 技術(shù)通過單軸氣動驅(qū)動器提供閥板的 J 型運動。在 J 型運動中，閥板在不接觸閥體的情況下垂直移動到關(guān)閉位置，在最后的運動中被水平推到閥座上（密封件以固定力接觸閥座，該固定力與所連接的空氣壓力相關(guān)）。     

為大程度地減少粒子的產(chǎn)生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標準 O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標準 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

斷電時，04.2 系列可通過選配的止回閥氣動鎖定在關(guān)閉和打開位置。

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設計用于延長免維護運行（在維護前開關(guān)次數(shù) ≤ 300 萬）。

04.2 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種半導體生產(chǎn)流程的要求苛刻的應用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅固的設計，減少了維護量，使維護更方便，在各個方面都令人信服。